Verfahren und Vorrichtung zur Ladungsträgerstrahlbelichtung

EP1180784 Art B1 14. April 2010

Anmelder: Hitachi, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1180784
Aktenzeichen
EP01119151
Anmeldetag
8. August 2001
Veröffentlichung
14. April 2010
Erteilung
14. April 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/302H01J37/317
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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