Verbesserungen von Verfahren zum Plasmaätzen

EP1188180 Art B1 11. November 2009

Anmelder: SURFACE TECHNOLOGY SYSTEMS PLC 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1188180
Aktenzeichen
EP00940508
Anmeldetag
21. Juni 2000
Veröffentlichung
11. November 2009
Erteilung
11. November 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/306H01L21/465
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SURFACE TECHNOLOGY SYSTEMS PLC
Land
🇬🇧 Großbritannien

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Lambert, Ian Robert Manchester, Großbritannien
236
Patente gesamt
32
Fachgebiete
17
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Medizintechnik & Gesundheit Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Software & Datenverarbeitung
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