Methode zur Herstellung eines Porösen SIO2-Films
EP1189267
Art B1
23. Mai 2012
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1189267
- Aktenzeichen
- EP01917803
- Anmeldetag
- 3. April 2001
- Veröffentlichung
- 23. Mai 2012
- Erteilung
- 23. Mai 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/316H01L21/768
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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Fachgebiete
Kanzlei
Mitscherlich PartmbB
München, Deutschland
Mitscherlich wurde 1896 in Berlin gegründet und zog 1951 nach München, direkt in Nähe zu Europäischem Patentamt, DPMA, Bundespatentgericht und der Münchner UPC-Lokalkammer. Sie legt Wert auf Kontinuität und betreut manche Mandate seit Jahrzehnten.
21.812
Patente gesamt
9
Patentanwälte
1
Standorte
Weitere Vertreter
-
Körber, Wolfhart
NoneMünchen