Herstellungsverfahren einer Halbleitervorrichtung durch Niedrigenergie Höhenkippwinkel Ionenimplantation
EP1190442
Art A2
27. März 2002
Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1190442
- Aktenzeichen
- EP00939468
- Anmeldetag
- 31. Mai 2000
- Veröffentlichung
- 27. März 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/265H01L21/336H01L21/8238H01L21/266
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Varian Semiconductor Equipment Associates Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.
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Fachgebiete
Kanzlei
Marks & Clerk LLP
Marks & Clerk zählt zu den ältesten und international breitesten IP-Kanzleien: 1887 in Birmingham gegründet, ist sie heute mit eigenen Büros auf drei Kontinenten präsent und deckt das gesamte Spektrum des gewerblichen Rechtsschutzes ab.
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Weitere Vertreter
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Foster, Mark Charles
Mathisen & Macara LLP · London