Vorrichtung zur Überwachung von Absichtlichen oder Unvermeidbaren Schichtabscheidungen und Verfahren

EP1192291 Art B1 7. Mai 2003

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Infineon Technologies SC300 GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1192291
Aktenzeichen: EP00954289
Anmeldetag: 28. Juni 2000
Veröffentlichung: 7. Mai 2003
Erteilung: 7. Mai 2003
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/54G01B11/06H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Infineon Technologies SC300 GmbH & Co. KG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

10.117 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von