Verbesserte Massendurchfluss-Sensor-Schnittstelle
EP1192423
Art A2
3. April 2002
Anmelder: Celerity, Inc., Entegris, Inc., Mykrolis Corporation, MILLIPORE CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1192423
- Aktenzeichen
- EP00951067
- Anmeldetag
- 20. Juni 2000
- Veröffentlichung
- 3. April 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01F1/696
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Celerity, Inc.
Entegris, Inc.
Mykrolis Corporation
MILLIPORE CORPORATION - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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