Polierpaste für Lsi-Fertigung und Lsi-Herstellungsmethode

EP1193745 Art A1 3. April 2002

Anmelder: Showa Denko K.K., SHOWA DENKO K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1193745
Aktenzeichen: EP01902753
Anmeldetag: 2. Februar 2001
Veröffentlichung: 3. April 2002
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/304C09K3/14C09G1/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Showa Denko K.K.
SHOWA DENKO K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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