Verfahren und Vorrichtung zur Ausrichtung von Ionenstrahlsystemen mittels Ionenstromsensoren
EP1194947
Art A1
10. April 2002
Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1194947
- Aktenzeichen
- EP00943286
- Anmeldetag
- 29. Juni 2000
- Veröffentlichung
- 10. April 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/317H01J37/244
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Varian Semiconductor Equipment Associates Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.
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Fachgebiete
Kanzlei
Marks & Clerk LLP
Marks & Clerk zählt zu den ältesten und international breitesten IP-Kanzleien: 1887 in Birmingham gegründet, ist sie heute mit eigenen Büros auf drei Kontinenten präsent und deckt das gesamte Spektrum des gewerblichen Rechtsschutzes ab.
37.278
Patente gesamt
30
Patentanwälte
8
Standorte
Weitere Vertreter
-
Foster, Mark Charles
Mathisen & Macara LLP · London