Verfahren zur Reinigung nach einer Ätzung

EP1195803 Art B1 15. November 2006

Anmelder: Avago Technologies General IP (Singapore) Pte. Ltd, Agilent Technologies, Inc. (a Delaware corporation), Agilent Technologies Inc. (a Delaware Corporation) 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1195803
Aktenzeichen
EP01119044
Anmeldetag
7. August 2001
Veröffentlichung
15. November 2006
Erteilung
15. November 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3213H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Avago Technologies General IP (Singapore) Pte. Ltd
Agilent Technologies, Inc. (a Delaware corporation)
Agilent Technologies Inc. (a Delaware Corporation)
Land
🇸🇬 Singapur
🇸🇬 Avago Technologies General IP (Singapore) Pte. Ltd.

Avago Technologies General IP (Singapore) Pte. Ltd. war eine Singapurer IP-Holdinggesellschaft des Halbleiterkonzerns Avago (heute Teil von Broadcom) mit Patenten zur Halbleitertechnik.

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🇺🇸 Agilent Technologies

US-amerikanischer Hersteller von Analysegeräten, Labortechnik und Diagnostiklösungen, 1999 als Ausgründung von Hewlett Packard entstanden. Schwerpunkte sind Chromatographie, Massenspektrometrie und Life-Science-Instrumente.

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