Entfernung von Fluor aus Abgasen der Halbleiterbehandlung

EP1201291 Art A1 2. Mai 2002

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1201291
Aktenzeichen: EP01125787
Anmeldetag: 29. Oktober 2001
Veröffentlichung: 2. Mai 2002
Rechtsraum: EP
IPC: B01D53/68B01J20/08

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

906 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von