Beleuchtungssystem mit reduzierter Wärmebelastung

EP1202100 Art A3 6. April 2005

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1202100
Aktenzeichen
EP01121888
Anmeldetag
12. September 2001
Veröffentlichung
6. April 2005
Rechtsraum
EP
IPC
G02B19/00G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Kanzlei
Sawodny Patentanwalt Ulm, Deutschland

Sawodny Patentanwalt (Dr. Michael Sawodny), Teil des Kanzleiverbunds AKLaw mit Standorten in München und Ulm. Seit 1995 im Patent- und Markenrecht tätig, seit 1996 als European Patent and Trademark Attorney, mit Schwerpunkten in Materialwissenschaften, Optik und Maschinenbau.

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