Fensterloses Polierband und Verfahren zum Vor-Ort Überwachen einer Halbleiterscheibe
EP1214174
Art B1
11. Februar 2004
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION, Praxair S.T. Technology, Inc., Praxair CMP Products, Inc., SCAPA GROUP PLC 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1214174
- Aktenzeichen
- EP00954098
- Anmeldetag
- 16. August 2000
- Veröffentlichung
- 11. Februar 2004
- Erteilung
- 11. Februar 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B37/04B24D11/00B24B49/04B24B49/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- LAM RESEARCH CORPORATION
Praxair S.T. Technology, Inc.
Praxair CMP Products, Inc.
SCAPA GROUP PLC - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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