Verfahren zum Schutz einer Halbleiterscheibe während des Dünnens des Wafers

EP1215722 Art B1 4. Mai 2016

Anmelder: Mitsui Chemicals Tohcello, Inc., MITSUI CHEMICALS, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1215722
Aktenzeichen: EP01129623
Anmeldetag: 12. Dezember 2001
Veröffentlichung: 4. Mai 2016
Erteilung: 4. Mai 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/68H01L21/58C09J7/02H01L23/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Mitsui Chemicals Tohcello, Inc.
MITSUI CHEMICALS, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsui Chemicals

Mitsui Chemicals ist ein japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, der Basis- und Spezialchemikalien, Kunststoffe sowie Materialien für Elektronik und Mobilität herstellt. Das Unternehmen ging 1997 aus der Fusion mehrerer Mitsui-Chemieunternehmen hervor.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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