Endpunktkontrolle bei Ätzschritten

EP1218934 Art B1 20. Dezember 2006

Anmelder: Qimonda Dresden GmbH & Co. oHG, Qimonda AG, MOTOROLA, INC., Infineon Technologies SC300 GmbH & Co. KG, Infineon Technologies AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1218934
Aktenzeichen: EP00964248
Anmeldetag: 28. September 2000
Veröffentlichung: 20. Dezember 2006
Erteilung: 20. Dezember 2006
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/66H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Qimonda Dresden GmbH & Co. oHG
Qimonda AG
MOTOROLA, INC.
Infineon Technologies SC300 GmbH & Co. KG
Infineon Technologies AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇺🇸 Motorola

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit historischem Sitz in Schaumburg, Illinois. Motorola war ein bedeutender Hersteller von Mobilfunkgeräten, Halbleitern und Kommunikationstechnik, bevor es in mehrere Nachfolgegesellschaften wie Motorola Solutions und Motorola Mobility aufgeteilt wurde.

3.541 Patente in unserer Datenbank

🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

4.872 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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