Mehrspiegelsystem für Beleuchtungssystem
EP1220039
Art A1
3. Juli 2002
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss, Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss, Carl Zeiss Stiftung Trading as Carl Zeiss 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1220039
- Aktenzeichen
- EP02004057
- Anmeldetag
- 28. Juli 2000
- Veröffentlichung
- 3. Juli 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss
Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss
Carl Zeiss Stiftung Trading as Carl Zeiss - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Kanzlei
Sawodny Patentanwalt
Ulm, Deutschland
Sawodny Patentanwalt (Dr. Michael Sawodny), Teil des Kanzleiverbunds AKLaw mit Standorten in München und Ulm. Seit 1995 im Patent- und Markenrecht tätig, seit 1996 als European Patent and Trademark Attorney, mit Schwerpunkten in Materialwissenschaften, Optik und Maschinenbau.
514
Patente gesamt
1
Patentanwälte
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Standorte
Weitere Vertreter
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Carl Zeiss AG - Patentabteilung
Carl Zeiss AG - Patentabteilung · Oberkochen
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Dr. Weitzel & Partner
Dr. Weitzel & Partner · Heidenheim