Anpassungsvorrichtung und Plasma-Behandlungsanlage
EP1225794
Art B1
20. August 2008
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Tokyo Hy-Power Labs., Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1225794
- Aktenzeichen
- EP00966442
- Anmeldetag
- 12. Oktober 2000
- Veröffentlichung
- 20. August 2008
- Erteilung
- 20. August 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05H1/46H01L21/3065H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOKYO ELECTRON LIMITED
Tokyo Hy-Power Labs., Inc. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Kanzlei
Boehmert & Boehmert
München, Deutschland
Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.
39.124
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