Lithographisches Gerät, Lithographisches Verfahren sowie Methode zur Herstellung einer Vorlage für einen Transfer
EP1229387
Art B1
13. August 2008
Anmelder: Hitachi, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1229387
- Aktenzeichen
- EP02000305
- Anmeldetag
- 3. Januar 2002
- Veröffentlichung
- 13. August 2008
- Erteilung
- 13. August 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00H05K3/12B41J2/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Hitachi, Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi
Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.
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