Hilfskraftsbetätigtes Automatisch Überwachtes Klassifizierungserstellungswerkzeug für Halbleiterdefekte

EP1238367 Art B1 19. September 2012

Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1238367
Aktenzeichen
EP00982744
Anmeldetag
29. November 2000
Veröffentlichung
19. September 2012
Erteilung
19. September 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G06T7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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Kanzlei
Kancelaria Patentowa Lukaszyk

Gegründet 1992 in Chorzów bei Katowice, kurz nach Öffnung der privaten Anwaltstätigkeit in Polen. Verbindet juristische mit naturwissenschaftlich-technischer Expertise von Chemie und Pharmazie bis Gentechnik und Nanotechnologie und begleitet Patent- sowie internationale PCT- und EPA-Verfahren.

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