Linsenaufbau für Elektronenstrahlsaüle

EP1239509 Art A1 11. September 2002

Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1239509
Aktenzeichen: EP02004970
Anmeldetag: 5. März 2002
Veröffentlichung: 11. September 2002
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/141H01J37/18H01J37/301

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NIKON CORPORATION
Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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