Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Prozesstemperatur der Oberfläche eines Produkts, insbesondere einer Halbleiterscheibe

EP1241459 Art A1 18. September 2002

Anmelder: Infineon Technologies AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1241459
Aktenzeichen: EP01118801
Anmeldetag: 9. August 2001
Veröffentlichung: 18. September 2002
Rechtsraum: EP
IPC: G01K7/42G01J5/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Infineon Technologies AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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