Gasgekühlte elektrostatische Halteplatte mit stiftförmigen Distanzhaltern für Vakuumanwendungen

EP1241706 Art B1 3. Januar 2007

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1241706
Aktenzeichen: EP02005780
Anmeldetag: 13. März 2002
Veröffentlichung: 3. Januar 2007
Erteilung: 3. Januar 2007
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/68H01L23/467H02N13/00C23F1/08H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

5.286 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von