Breitbandig ausgeführtes Sondenanalysensystem

EP1244133 Art B1 23. August 2017

Anmelder: MKS Instruments, Inc., Eni Technology, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1244133
Aktenzeichen
EP02005101
Anmeldetag
7. März 2002
Veröffentlichung
23. August 2017
Erteilung
23. August 2017
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
MKS Instruments, Inc.
Eni Technology, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Kanzlei
Mathys & Squire München, Deutschland

Mathys & Squire wurde 1910 gegründet und blickt auf über ein Jahrhundert Erfahrung zurück, mit zahlreichen britischen Standorten sowie Luxemburg, München und Paris und Teams in China und Japan, beraten auch auf Deutsch und Chinesisch.

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