Breitbandig ausgeführtes Sondenanalysensystem
Anmelder: MKS Instruments, Inc., Eni Technology, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1244133
- Aktenzeichen
- EP02005101
- Anmeldetag
- 7. März 2002
- Veröffentlichung
- 23. August 2017
- Erteilung
- 23. August 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MKS Instruments, Inc.
Eni Technology, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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Fachgebiete
Mathys & Squire wurde 1910 gegründet und blickt auf über ein Jahrhundert Erfahrung zurück, mit zahlreichen britischen Standorten sowie Luxemburg, München und Paris und Teams in China und Japan, beraten auch auf Deutsch und Chinesisch.
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Moir, Michael Christopher
NoneLondon
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Mathys & Squire LLP
Mathys & Squire LLP · Holborn London
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Duhme, Torsten
NoneStuttgart