Projektionsobjektiv für Mikrolithographische Reduzierung
EP1247132
Art B1
24. Mai 2006
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss, Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss, CARL ZEISS, Carl Zeiss Stiftung Trading as Carl Zeiss 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1247132
- Aktenzeichen
- EP00990025
- Anmeldetag
- 23. Dezember 2000
- Veröffentlichung
- 24. Mai 2006
- Erteilung
- 24. Mai 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B17/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss
Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss
CARL ZEISS
Carl Zeiss Stiftung Trading as Carl Zeiss - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Vertreten von
Schultz, Jörg Martin
Oberkochen, Deutschland
22
Patente gesamt
5
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Müller-Rissmann, Werner Albrecht, Dr
NoneOberkochen