Vorrichtung zur Bearbeitung von Substraten

EP1252650 Art A1 30. Oktober 2002

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1252650
Aktenzeichen
EP02715754
Anmeldetag
16. Januar 2002
Veröffentlichung
30. Oktober 2002
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/00C25D7/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EBARA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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