Monitor, Überwachungsmethode, Poliermaschine, und Herstellungsmethode für eine Halbleiterscheibe

EP1255286 Art A1 6. November 2002

Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1255286
Aktenzeichen: EP00981828
Anmeldetag: 19. Dezember 2000
Veröffentlichung: 6. November 2002
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/304B24B37/04B24B49/12B24D7/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NIKON CORPORATION
Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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