Heizungsanlage und Verfahren zur Heizung für einen Reaktor

EP1256973 Art B1 29. Dezember 2004

Anmelder: Infineon Technologies SC300 GmbH & Co. OHG, Aviza Technology, Inc., Infineon Technologies SC300 GmbH & Co. KG, ASML Netherlands B.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1256973
Aktenzeichen: EP01109164
Anmeldetag: 12. April 2001
Veröffentlichung: 29. Dezember 2004
Erteilung: 29. Dezember 2004
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/00C30B31/18C23C16/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Infineon Technologies SC300 GmbH & Co. OHG
Aviza Technology, Inc.
Infineon Technologies SC300 GmbH & Co. KG
ASML Netherlands B.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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