Verfahren und Vorrichtung zur Abscheidung aus der Gasphase
EP1260605
Art B1
18. Juli 2012
Anmelder: Kido, Junji, ROHM CO., LTD., International Manufacturing and Engineering Services Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1260605
- Aktenzeichen
- EP02011347
- Anmeldetag
- 23. Mai 2002
- Veröffentlichung
- 18. Juli 2012
- Erteilung
- 18. Juli 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/56C23C14/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Kido, Junji
ROHM CO., LTD.
International Manufacturing and Engineering Services Co., Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Rohm
Japanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kyoto, spezialisiert auf integrierte Schaltkreise, diskrete Halbleiterbauelemente und Leistungshalbleiter (unter anderem Siliziumkarbid-Bauteile).
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