Werkstoff niedriger Dielektrizitätskonstante und CVD-Verfahren

EP1260606 Art A3 21. April 2004

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1260606
Aktenzeichen: EP02010229
Anmeldetag: 16. Mai 2002
Veröffentlichung: 21. April 2004
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/30H01L21/316

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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