Verfahren zur Reparatur von Lithographischen Masken unter Verwendung eines Strahls Geladener Teilchen
EP1261752
Art B1
30. Mai 2007
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1261752
- Aktenzeichen
- EP01914785
- Anmeldetag
- 9. März 2001
- Veröffentlichung
- 30. Mai 2007
- Erteilung
- 30. Mai 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/00C23C14/34C23F1/04G06K19/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
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Patente gesamt
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Fachgebiete
4
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