Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

EP1262836 Art B1 12. September 2018

Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASML 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1262836
Aktenzeichen
EP02253823
Anmeldetag
30. Mai 2002
Veröffentlichung
12. September 2018
Erteilung
12. September 2018
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ASML Netherlands B.V.
ASML
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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