Gleichförmige Tiefenverteilung von Vertieften Lackschichten in Grabenstrukturen

EP1269534 Art A2 2. Januar 2003

Anmelder: Infineon Technologies North America Corp. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1269534
Aktenzeichen
EP01904820
Anmeldetag
11. Januar 2001
Veröffentlichung
2. Januar 2003
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/762H01L21/763H01L21/8242
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Infineon Technologies North America Corp.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Infineon Technologies North America

Infineon Technologies North America ist die US-amerikanische Tochtergesellschaft des deutschen Halbleiterkonzerns Infineon Technologies. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Datenspeicherung und Schaltungstechnik. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2015.

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