Plasma-Stromversorgung mit Schutzschaltung
EP1272014
Art B1
9. September 2009
Anmelder: MKS Instruments, Inc., Eni Technology, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1272014
- Aktenzeichen
- EP02015536
- Anmeldetag
- 21. Juli 2000
- Veröffentlichung
- 9. September 2009
- Erteilung
- 9. September 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05H1/46H02M7/537
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MKS Instruments, Inc.
Eni Technology, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
425 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Wehnert, Werner
München, Deutschland
248
Patente gesamt
25
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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