Belichtungseinrichtung mit Gleichförmig Geladenen Partikeln und Verfahren mit Übersetzbarer Stufe und Faraday-Kappe
EP1277222
Art A1
22. Januar 2003
Anmelder: Applied Materials, Inc., Proteros, LLC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1277222
- Aktenzeichen
- EP01920790
- Anmeldetag
- 27. März 2001
- Veröffentlichung
- 22. Januar 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/147H01J37/317
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
Proteros, LLC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Vertreten von
Cross, Rupert Edward Blount
London, Großbritannien
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