Verfahren und System zur Kalibrierung einer Elektrischen Messung der Linienbreite und in dem Verfahren Genutzter Wafer
EP1278997
Art B1
26. Oktober 2005
Anmelder: Infineon Technologies AG, IMEC 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1278997
- Aktenzeichen
- EP01911508
- Anmeldetag
- 22. Januar 2001
- Veröffentlichung
- 26. Oktober 2005
- Erteilung
- 26. Oktober 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Infineon Technologies AG
IMEC - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Infineon Technologies
Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.
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🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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