Verfahren zur Feststellung der Entfernung von organischem Material von einer Halbleitervorrichtung während des Herstellungsverfahrens

EP1283546 Art A1 12. Februar 2003

Anmelder: Infineon Technologies AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1283546
Aktenzeichen: EP01119150
Anmeldetag: 8. August 2001
Veröffentlichung: 12. Februar 2003
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/311G03F7/42H01L21/66G03F7/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Infineon Technologies AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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