Durch die Linse Elektronenstrahlneutralisierung für Fokusierte Iononenstrahlvorrichtung

EP1287543 Art B1 26. August 2009

Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1287543
Aktenzeichen
EP01951506
Anmeldetag
16. Mai 2001
Veröffentlichung
26. August 2009
Erteilung
26. August 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/02H01J37/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI COMPANY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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