Vorrichtung zur Untersuchung von Halbleiter-Wafern und Masken, die ein Niederenergie-Elektronenmikroskop mit Zwei Beleuchtungsstrahlen Verwenden
EP1290430
Art B1
12. November 2014
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1290430
- Aktenzeichen
- EP01939046
- Anmeldetag
- 14. Mai 2001
- Veröffentlichung
- 12. November 2014
- Erteilung
- 12. November 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/26
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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Fachgebiete
Kanzlei
Kancelaria Patentowa Lukaszyk
Gegründet 1992 in Chorzów bei Katowice, kurz nach Öffnung der privaten Anwaltstätigkeit in Polen. Verbindet juristische mit naturwissenschaftlich-technischer Expertise von Chemie und Pharmazie bis Gentechnik und Nanotechnologie und begleitet Patent- sowie internationale PCT- und EPA-Verfahren.
424
Patente gesamt
1
Patentanwälte
1
Standorte
Weitere Vertreter
-
Haines, Miles John
NoneLondon