Planarisierungsverfahren zur Verbesserung der Gleichförmigkeit von Halbleiterscheiben
Anmelder: Infineon Technologies North America Corp., Infineon Technologies Richmond, LP, MOTOROLA, INC., International Business Machines Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1295321
- Aktenzeichen
- EP01906705
- Anmeldetag
- 26. Januar 2001
- Veröffentlichung
- 26. März 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3105
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Infineon Technologies North America Corp.
Infineon Technologies Richmond, LP
MOTOROLA, INC.
International Business Machines Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
Infineon Technologies North America ist die US-amerikanische Tochtergesellschaft des deutschen Halbleiterkonzerns Infineon Technologies. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Datenspeicherung und Schaltungstechnik. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2015.
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