Einrichtung zur Plasmaverarbeitung
EP1300878
Art B1
8. März 2006
Anmelder: Ohmi, Tadahiro, TOKYO ELECTRON LIMITED, OHMI, Tadahiro 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1300878
- Aktenzeichen
- EP02708714
- Anmeldetag
- 28. März 2002
- Veröffentlichung
- 8. März 2006
- Erteilung
- 8. März 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/31H05H1/46H01L21/3065
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Ohmi, Tadahiro
TOKYO ELECTRON LIMITED
OHMI, Tadahiro - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Kanzlei
Boehmert & Boehmert
München, Deutschland
Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.
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