Verfahren und Rasterelektronenmikroskop zur Breitenmessung von Objekten auf einer Probe

EP1302972 Art A3 2. Februar 2005

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1302972
Aktenzeichen: EP02021294
Anmeldetag: 19. September 2002
Veröffentlichung: 2. Februar 2005
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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