Verfahren zur Bildung einer Siliziumdioxidschicht auf einer gekrümmten Silizium-Oberfläche

EP1306894 Art A1 2. Mai 2003

Anmelder: Qimonda AG, Infineon Technologies AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1306894
Aktenzeichen
EP01125000
Anmeldetag
19. Oktober 2001
Veröffentlichung
2. Mai 2003
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/316H01L21/8242H01L27/108
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Qimonda AG
Infineon Technologies AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

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