Sensor für Ultrareine und Stark Korrosive Umgebungen

EP1311818 Art B1 12. September 2007

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1311818
Aktenzeichen
EP01959068
Anmeldetag
19. Juli 2001
Veröffentlichung
12. September 2007
Erteilung
12. September 2007
Rechtsraum
EP
IPC
G01L19/04G01L19/06G01L19/14
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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