Einrichtung und Verfahren zur Ausbildung von Erhebungen

EP1313139 Art A1 21. Mai 2003

Anmelder: Panasonic Corporation, MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1313139
Aktenzeichen: EP01945693
Anmeldetag: 29. Juni 2001
Veröffentlichung: 21. Mai 2003
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/60H01L21/00B23K20/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Panasonic Corporation
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Panasonic

Japanischer Konzern, der Haushaltsgeräte, Unterhaltungselektronik, Batterien sowie Komponenten und Lösungen für Industrie und Automobilbau entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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