Ausrichtsmarken, Methoden zum Entwurf von Ausrichtmarken, und Verfahren zum Messen von Ausrichtfehlern

EP1314198 Art B1 8. März 2017

Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1314198
Aktenzeichen
EP01971384
Anmeldetag
28. August 2001
Veröffentlichung
8. März 2017
Erteilung
8. März 2017
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/66H01L23/544G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung Optik & Fototechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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