Retikellagerkammer und Retikelkassetten zur Temperaturkontrolle und zum schnellen Entlagern von Retikeln zur Belichtung

EP1318430 Art A3 9. März 2005

Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1318430
Aktenzeichen: EP02027321
Anmeldetag: 6. Dezember 2002
Veröffentlichung: 9. März 2005
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NIKON CORPORATION
Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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