Korrektur von Ausrichtefehlern zwischen Inspektionsschichten in Halbleiterbauelementen

EP1319247 Art B1 28. Mai 2008

Anmelder: Synopsys, Inc., Heuristic Physics Laboratories 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1319247
Aktenzeichen
EP01968493
Anmeldetag
4. September 2001
Veröffentlichung
28. Mai 2008
Erteilung
28. Mai 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Synopsys, Inc.
Heuristic Physics Laboratories
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Synopsys

Synopsys ist ein US-amerikanischer Anbieter von Software für den Chip- und Systementwurf (EDA) mit Sitz in Kalifornien. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Software und Datenverarbeitung sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Optik und Elektronik für Entwurfswerkzeuge. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.

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