Beleuchtungssystem insbesondere für Microlithographie
EP1320854
Art B1
3. November 2004
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss, Carl-Zeiss-Stiftung, trading as Carl Zeiss 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1320854
- Aktenzeichen
- EP01982375
- Anmeldetag
- 28. September 2001
- Veröffentlichung
- 3. November 2004
- Erteilung
- 3. November 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G21K5/04G03F7/20G21K1/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss
Carl-Zeiss-Stiftung, trading as Carl Zeiss - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Kanzlei
Sawodny Patentanwalt
Ulm, Deutschland
Sawodny Patentanwalt (Dr. Michael Sawodny), Teil des Kanzleiverbunds AKLaw mit Standorten in München und Ulm. Seit 1995 im Patent- und Markenrecht tätig, seit 1996 als European Patent and Trademark Attorney, mit Schwerpunkten in Materialwissenschaften, Optik und Maschinenbau.
514
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Dr. Weitzel & Partner
Dr. Weitzel & Partner · Heidenheim