Belichtungsgerät, insbesondere für die Mikrolithographie
EP1320855
Art A2
25. Juni 2003
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss, Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss, CARL ZEISS, Carl Zeiss Stiftung Trading as Carl Zeiss 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1320855
- Aktenzeichen
- EP01985762
- Anmeldetag
- 28. September 2001
- Veröffentlichung
- 25. Juni 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G21K5/04G21K1/06G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss
Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss
CARL ZEISS
Carl Zeiss Stiftung Trading as Carl Zeiss - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Kanzlei
Sawodny Patentanwalt
Ulm, Deutschland
Sawodny Patentanwalt (Dr. Michael Sawodny), Teil des Kanzleiverbunds AKLaw mit Standorten in München und Ulm. Seit 1995 im Patent- und Markenrecht tätig, seit 1996 als European Patent and Trademark Attorney, mit Schwerpunkten in Materialwissenschaften, Optik und Maschinenbau.
514
Patente gesamt
1
Patentanwälte
1
Standorte
Weitere Vertreter
-
Carl Zeiss AG - Patentabteilung
Carl Zeiss AG - Patentabteilung · Oberkochen
-
Dr. Weitzel & Partner
Dr. Weitzel & Partner · Heidenheim