Ätzvorrichtung für einen Isolationsfilm
EP1324374
Art B1
11. November 2009
Anmelder: Canon Anelva Corporation, ANELVA CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1324374
- Aktenzeichen
- EP02258328
- Anmeldetag
- 3. Dezember 2002
- Veröffentlichung
- 11. November 2009
- Erteilung
- 11. November 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00C23C16/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Canon Anelva Corporation
ANELVA CORPORATION - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon Anelva
Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.
421 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Muir, Benjamin M. J
London, Großbritannien
219
Patente gesamt
22
Fachgebiete
5
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Muir, Benjamin M. J. (GB)
NoneBristol