Verfahren zur ringförmigen Beleuchtung für Teilchenstrahl-Optik

EP1329937 Art A2 23. Juli 2003

Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1329937
Aktenzeichen: EP03001024
Anmeldetag: 17. Januar 2003
Veröffentlichung: 23. Juli 2003
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/304H01J37/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NIKON CORPORATION
Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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